| Zur Plasmabehandlung von größeren Formteilen kann es notwendig sein, die Elektrode der Werkstückform anzupassen. Somit ist auch eine gleichmäßige Ätzung von Vertiefungen gewährleistet. |
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Zur Folienbehandlung wird die komplette Folienrolle in die Kammer eingebracht. Über ein Wickelsystem wird die Folie an der Elektrode vorbeigeführt und plasmabehandelt. Die behandelte Folie wird aufgerollt und nach Prozeßende entnommen. |
