diener electronic : Thornton-Diagramm


	Thornton-Diagramm Halbschematische graphische Darstellung des Einflusses von Kammerdruck und homologer Beschichtungstemperatur (während der Abscheidung) auf die Morphologie metallischer und keramischer Beschichtungen, die mittels Plasma-unterstützten PVD-Verfahren hergestellt werden.

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