diener electronic : Sputterätzer


	Sputterätzer Anlage, die das auf dem Sputtereffekt (physikalisches Ätzen, abstäuben bzw. durch Ionenbombardement induziertes herausschlagen von Atomen aus der Festkörperoberfläche) beruhende Trockenätzen nutzt, um die Randschicht bzw. Fremdschichten sukzessive abzutragen.(SH)

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