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Technische Daten:
Schaltschrank:
B 580 mm, H 650 mm, T 600 mm
Kammer:
Ø 240 mm, L 400 mm
(Optional: L 600 mm)
Kammeröffnung Ø: 230 mm
Werkstoffe: Quarz oder Borosilikatglas Vorder- u. Rückwand
der Kammer: Aluminium
Kammervolumen:
ca. 18 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über Nadelventil
Generator:
40kHz/300W, stufenlos
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Vakuumpumpe:
Leybold, Typ D8B (8 m³/h)
Teile-Aufnahme:
1 St. Warenträger
Steuerung:
halbautomatisch, Prozeßzeit über Timer
Optionen / Zubehör
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Kleinanlage NANO UHP mit halbautomatischer Steuerung: Reinigung,
Aktivierung, Ätzung, Beschichtung
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