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Es wird ein Gas [ z. B. Hexamethyldisiloxan (HMDSN), Hexamethyldisilazan (HMDSN), Tetraethylenglykol-dimethyl ether, C2F6 ...] in die Plasmakammer eingeleitet. Durch Plasmapolymerisation werden auf der Oberfläche Schichten abgeschieden.
Anwendungen:
- Abscheiden von hydrophoben Schichten
- Abscheiden von hydrophilen Schichten
- Einsatz z.B. als Diffusionssperre
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