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Nachfolgend finden Sie ein Lexikon mit Erklärungen zu den wichtigsten Begriffen in der Plasmatechnologie.

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1 13,56 MHz,

2 2,4 GHz, 2,45 GHz, 27,12 MHz,

4 40 kHz,

A Ätzeffekt, Ätzer, Ätzmaske, Ätzung, ABS, Acryl, Adhäsion, Adhäsion Verbesserung, Adsorption, Aetzen, Aetzmaske, AFM, Aktive Spezies, Aktivgasstrom, Aktivieren, Aktivierung, Aluminium, Aluminium lackieren, Aluminium reinigen, Aluminiumoxid, amphiphil, Anisotrop, Anlagenkomponenten, Anode, antiadhesiv, antiadhesive Schichten, antihaftbeschichtung, antihaftbeschichtungen, antiseptische Reinigung, Anwendungsgebiete, Anwendungsmöglichkeiten, Argon (Ar), Asbest, Asbestanalyse, ashing, Atmosphärendruck plasma, Atmosphärenplasma, Atmosphärenplasmen, Aufdampfen, Auger-Effekt, Automobilbau,

B Barrel Plasma Etcher, Barrel-Reaktor, Barriere-Schichten, Barriereschicht, bedrucken, Beflammung, Beflocken, Benetzbarkeit, Benetzbarkeit verändern, Benetzbarkeit verbessern, Benetzung, Benetzungsproblem, Beschichten, Beschichten von Kunststoffen, Beschichtung, Beschichtungen, Beschichtungsanlage, Beschichtungsanlagen, Beschichtungstechnik, Beschichtungstechnologie, Beschichtungsverfahren, BGA, Biasspannung, Bindungsenergie, Blitzentladung, Bonden,

C CF4, Chemisches Aetzen, Chemisorption, chip packaging, chirurgische Instrumente reinigen, Chrom, Chromschwefelsäure, Corona, Corona-Entladung, CVD, CVD Beschichtung, CVD Beschichtungen,

D desmear, Desmear Prozess, Desmear-Prozess, desmearing, Desorption, die bonden, die bonding, DLC, DLC Beschichtung, DLC Schichten, DLC-Schichten, downstream plasma, downstream reaktor, Downstream-Reaktor, Drehschieberpumpe, Drehtrommel, dry, dryasher, drycleaner, dryetcher, dryoven, dünne Schichten, Dünnschichttechnik, Dünnschichttechnologie, Duplex-Beschichtungen,

E Edelstahl, Einsatzhärtung, Elektrode, Elektron, Elektronegatives Plasma, Elektronenmikroskopie, Elektronenvolt, Elektropositives Plasma, Entfetten, Entlackung, EPDM-profile, epilamisieren, Epilamisierung, Epitaxie, ESCA,

F Farbe des Plasmas, Feinstreiniger, Feinstreinigung, fettfrei machen, Finish, fluorieren, Flußmittel, Folienbehandlung, Fotolack, Fotolacke, Funktionalisierung,

G Gallium Arsenid, Gallium-Arsenid, Garnbehandlung, Gas Plasma, Gasentladung, GDOS, Generator, Gewebebehandlung, GHz-Plasmaanlage, Gitterschnitt, Gitterschnitt test, Glas, Glas ätzen, Glas kleben, Glasfaser, Gleichspannungsquellen / Wechselspannungsquellen, Gleiteigenschaft, Gleitlack, Glimmlicht, Graben, Graft Polymerisation,

H haftfeste Oberflächen, Haftverbesserung, Haftvermittler, Halbleiter, harte Schichten, Hartstoffschichten, Hexamethyldisiloxan, HF-Generator, Hidrofob, HMDSO, HMDSO beschichten, hochreine Oberfläche, Hochspannungsentladung, hydrophil, hydrophile, Hydrophile Schichten, Hydrophob, hydrophobe, Hydrophobe Schichten, Hydrophobie,

I IC, Induktion, Induktives Plasma, Industrielle Vorbehandlung, Ion, Ionenimplantation, Ionenplattieren, Ionenstrommeßsensor, Ionisation, Isotop, Isotrop,

K kaltes Plasma, Kammer, Katheter, Kathode, Kathodenfall, KHz-Plasmaanalge, Klebeeigenschaften verbessern, Klebeflächen modifizieren, Klebekraft erhöhen, Kleben, Kleben Automobilbau, Klebenut, Klebevorbereitung, Kleinflansche, Kohlenstofffaser, Kontaktwinkel, Kontaktwinkel verändern, Kontaktwinkel vergrössern, Kontaktwinkel verkleinern, Kontamination, Korona, Korrosion, Kraterbildung, kratzfest, Kratzfestigkeit, Kunststoff, Kunststoffaktivierung, Kunststoffaktivierungen, Kunststoffbeschichten, Kunststofflackierung, Kunststoffoberfläche, Kunststoffreinigung, Kunststoffveredelung, Kupfer, Kupfer reinigen,

L LABS-frei, LABS-Test, Labsfrei, Lackadhäsion verbessern, Lackbenetzung, Lackhaftung, Lackierbarkeit verbessern, Lackieren, lackieren von Kunststoff, Lackieren von Kunststoffen, Ladungsaustausch-Kollision, Langmuirsonde, Leadframe, Leiterplatte, Leiterplatten aetzen, Leuchtstoffröhre, LF-Magnetronsputtern, LF-Sputtern, Lichtbogen, LIGA, LIGA Verfahren, Liga-Verfahren, Lithografie, Löten, Luftplasma,

M Magazin, Magnetischer Spiegel, Magnetronsputtern, Maske, medizinische Instrumente Reinigung, MEMS, Metall, MFC / Mass-Flow-Controller, MHz-Plasmasystem, Mikroaufrauhung Oberfläche, Mikrosandstrahlen, Mikrosystemtechnik, Mikrowellenplasma, Mikrowellentechnik, Mittlere freie Weglänge, Modifikation, modifizierte Oberfläche, Molden,

N Neonröhre, Neutron, Nichtneutrale Plasmen, Niederdruck-Plasmatechnik, Niederdruckplasma, Niederdruckplasmaanlage, Niederdruckplasmaanlagen, Niederdruckplasmatechnologie, Niederdruckplasmen, Niedertemperaturplasma, Niedertemperaturplasmaanlage, Niedertemperaturplasmaanlagen, Nukleon,

O O-Ring-Beschichtung, OAUGDP, Oberfläche aktivieren, Oberflächen aufrauhen, Oberflächenbehandlung, Oberflächenbehandlungen, Oberflächenbeschichtungen, Oberflächenenergie, Oberflächenmodifizierung, Oberflächenoxid, Oberflächenreinigung, Oberflächenspannung verändern, Oberflächenspannung vergrößern, Oberflächenspannung verkleinern, Oberflächentechnik, Oberflächenveredelung, Oberflächenvergütung, Oberflächenvorbehandlung, Oberflächenzustand, offenes Plasma, open air plasma, Optische Beschichtungen, oxidieren,

P PACVD, Parallelplatten-Reaktor, PCB, PE (Polyethylen), PECVD, Permeation, Photolack, Photon, Physikalisches Aetzen, Physisorption, Pirani-Sensor, Plasma, plasma ätzen, plasma asher, plasma Beschichtung, Plasma cleaner, Plasma Düse, Plasma etcher, Plasma Feinstreinigung, Plasma Ofen, plasma reinigen, plasma Reiniger, plasma Reinigung, Plasma Sandstrahlen, Plasma Schicht, Plasma Schichten, Plasma Stick, Plasma Stift, plasma stripper, Plasmaätzen, Plasmaätzer, Plasmaaktivierung, Plasmaanlage, Plasmaanwendungen, Plasmaasher, Plasmabehandlung, Plasmabeschichtung, Plasmaborieren, Plasmacarbonitrieren, Plasmacarburieren, Plasmachemie, Plasmacleaner, Plasmadiffusion, Plasmaeffekte, Plasmaetcher, Plasmahärten, Plasmamodifizierung, Plasmanitrieren, Plasmanitrocarburieren, Plasmaofen, Plasmapolymerisation, Plasmareiniger, Plasmareinigung, Plasmaschicht, Plasmaschichten, Plasmasprühbeschichtung, Plasmastick, Plasmastift, plasmastripper, Plasmasystem, Plasmatechnik, Plasmatechnologie, Plasmaverascher, Platine, Platinen aetzen, Polimerisation, Polyamid (PA), Polybutylenterephthalat (PBT), Polycarbonat (PC), Polyethylenterephthalat (PE), Polyolefine, Polyoxymethylen (POM), Polypropylen (PP), Polystryrol (PS), Polytetrafluorethylen, Polytetrafluorethylen (PTFE), pom kleben, Positive Säule, Prinzip Plasmaprozess, Probenhalter, Propfpolymerisation, Proton, Prozessgas, PTFE ätzen, PTFE beschichten, PTFE Beschichtung, PTFE-Beschichtung, Pulverbeschichtung, Pulverbeschichtungen, PVC, PVD Beschichtung, PVD Beschichtungen,

R Radikalstellen, Randwinkel, reaktives ionen ätzen, Reaktives Ionenplattieren (RIP), reduzieren, Reinigen, REM, Rezipient, RIE,

S Säure, Sauerstoff, Schichtdicke, Schichteigenschaften, Schwefelhexafluorid, Silber, Silicium, Siliciumcarbid, Siliciumdioxid, Siliciumnitrid, Silicon, Silikon entfernen, Silikone, Silikonfrei, silikonfrei machen, Silikonreiniger, Siliziumwafer, SIMS, Sputterätzer, Sputteranlage, Sputtern, Sterilisation,

T Teflon ätzen, Teflon bedrucken, Teflon lackieren, Teflon verkleben, Teflon+hydrophil, Teflonoberfläche hydrophilisieren, Teflonoberfläche mattieren, Teflonoberfläche modifizieren, Teflonoberfläche verändern, TEM, Tesla, Testtinte, Testtinten, Tetrafluormethan, Textilbehandlung, Thornton-Diagramm, Titancarbid, Titannitrid, TOF-SIMS, Trennmittel, Trennmittelrückstände, Trockenätzen, Turbomolekular-Pumpe,

U Ueberätzen, Ultraviolett, UV-Strahlung,

V Verbundwerkstoff, Verbundwerkstoffe, Vergiessen, verkleben, Verklebung verbessern, Verklebung verstärken, Vorbehandlung,

W Wälzkolbenpumpe, Wafer etcher, Wasserlack, Wasserstoff, Wasserstoffplasma,

LEXIKON

[ BEGRIFFE AUS DER PLASMATECHNOLOGIE ]