diener electronic : Farbe des Plasmas


	Farbe des Plasmas Die Farbe eines Plasmas kommt zu Stande durch Emission aus energetisch angeregten Atomen, Ionen oder Molekülen bei der Relaxation in energieärmere Zustände. Da die Energieniveaus in jedem Gas unterschiedliche Differenzen aufweisen, zeigt jedes Prozessgas unterschiedliche charakteristische Emissionen und folglich unterschiedliche charakteristische Farben. Die typischen Farben einiger häufig in Plasma-Prozessen verwendeten Gase sind Folgende: CF4: blau SF6: blassblau SiF4: hellblau SiCl4: hellblau Cl2: blassgrün CCl4: blassgrün H2: rosa O2: blassgelb N2: rot bis gelb Br2: rötlich He: rot bis violett Ne: ziegelrot Ar: dunkelrot Die Farbe des Plasmas kann nicht nur zur Erkennung des Prozessgases genutzt werden, sondern auch zur qualitativen Abschätzung, ob das Prozessgas frei von Verunreinigungen ist.

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