diener electronic : Chemisches Aetzen


	Chemisches Aetzen Ätzvorgang, bei dem der Materialabtrag überwiegend auf chemischen Reaktionen der Radikale mit dem Substrat beruht. Der Vorgang ist ungerichtet (isotrop), aber selektiv. Die entstehenden flüchtigen Ätzprodukte werden abgepumpt.

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