自然界的稀有气体（近1 ％的地球大气层），由于其具有惰性化学性质而通常被作为保护气体被使用。在等离子体清洁和等离子体活化中常被作为制程气体来使用，虽然它与物件本身不发生化学反应，但却可以移除污物（见微型喷砂）而且可以在有机聚合物上形成自由基。