2,6升供实验室使用低成本等离子清洁机 半自动化操控
外型尺寸: W 425 mm, H 185 mm, D 450 mm 反应室尺寸: 玻璃反应舱Ø 105 mm, L 300 mm 反应室容积: 约 2,6 公升 气体供应: 针阀控制型，双气体通道 射频发生器: 40kHz/100W或13,56 MHz/ 50W 真空泵: 抽气速率: 2 m³/h 托盤: 1 件 控制方式: 手动, 计时器控制制程时间
低成本等离子机 ZEPTO 制程开发，清洁，活化，蚀刻
