diener electronic : Atto

Plasma Plasma systems Surface-Technology

	等离子机-低成本机
	[ 等离子机ATTO -低成本等离子清洁机]

	10，5升供实验室使用低成本等离子清洁机 ATTO半自动化操控，可用于以下范围小尺寸产品分析(SEM, TEM) 医疗技术灭菌消毒研发考古学纺织技术塑料技术

技术资料
Plasma cleaner Atto

外型尺寸:
B 425 mm, H 275 mm, D 450 mm
反应室尺寸:

玻璃容舱Ø 211 mm, L 300 mm
反应室容积:
约 10,5 公升
气体供应:
针阀控制型，双气体通道
射频发生器:
40kHz/200W or 13,56 MHz/ 50W
真空泵:
抽气速率: 2 m³/h
托盤:
1 件
控制方式:
手动, 计时器控制制程时间

低成本等离子机ATTO
制程开发，清洁，活化，蚀刻

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