技术资料:

外型尺寸:
W 1000 mm, H 2100 mm, D 1000 mm
反应室尺寸:
W 400 mm, D 600 mm, H 625 mm
反应室容积:
约 150 公升
气体供应:
流量控制型，双气体通道
射频发生器:
40kHz/0-2500 W
(可选: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵:
Leybold, Type  D65B(65 m3/h) 
托盘:
最多16件托盘(选项 : 旋转圆筒)
控制方式:
电脑控制(Windows)

TETRA-150-LF-PC

用于清洁,蚀刻,活化 

TETRA系列

 6件托盘及旋转圓筒两种形式.