參數設定:

• 抽真空至最低, 所需最大時間
• 氣體質量流量供應量 ( 依比率 )
• 製程壓力
• 壓力穩定所需時間
• 功率
• 製程時間
• 電漿處理時間
• 破真空時間
• 斜率限制
• 備分程式

製程的主選單