参数设定:

• 抽真空压力
• 抽真空至最低所需最大时间
• 气体流量
• 制程压力
• 压力稳定所需时间
• 高频功率
• 制程时间
• 清洗时间
• 通风时间
• 误差极限 
• 子程式

工作制程的程序菜单