控制軟體可因應電漿系統特別需求而設計﹒

• 容易使用﹒
• 系統資訊全顯示在銀幕上﹒
• 依所設的參數全自動控制﹒
• 監視出所有的參數﹒
• 登錄及記錄所有參數資料﹒
• 生產記錄及檔案管理﹒

電腦控制的功能:

• 電腦控制基礎上,結合個人電腦及工業介面﹒
• 電腦, 監視器, 鍵盤均內建在模組化隔間箱﹒
• 以Windows作業方式, 執行軟體﹒
  
  
• 兩種操作模式︰
  - 手動操作
  - 自動操作
  
• 參數:
  製程啟始壓力
  最大預估時間
  氣體質量流量 ( 依比率 )
  壓力穩定的時間
  壓力
  高頻功率
  電漿處理時間
  破真空時間
  溫度 
• 斜率限制 : 
  - 壓力
  - 質量流量
  - 高頻功率
  - 溫度
  
  
• 可儲存100個自動程式 
• 以PID調整器調整壓力﹒
• 圖示的製程參數﹒
• 製程資料可儲存 Excel檔﹒
• 圖表列印﹒
• 可安裝網路卡﹒
• 製程結束信號燈﹒
• 網路卡Network card﹒