1. 供給單元:

• 電源及相關電路連接
• 製程氣體及冷卻氣體連接
• 高電壓產生器
• 電漿控制箱
• 氣體控制箱
• 前控制面板
  

2. 輸送氣體和電力的繞摺式導管

3. 電漿產生單元: 中央電極, 外電極和絕緣體構成電漿光束產生區

• 欲形成放電現象,需用變壓器,將主電源電壓轉換成高電壓(最大10 kV).
• 經由繞摺式導管,將高電壓和製程/冷卻氣體,供應到噴發區
• 流動氣體攜帶由電弧所產生的活性離子(i+, e-, r *),從光束產生區噴出
• 特殊噴嘴可使活性氣體,形成集中噴流,作用到被處理物體的表面.