[ 构造及原理 ]

1. 供给单元:

• 电源及相关电路连接
• 制程气体及冷却气体连接
• 高压射频产生产生器
• 安培箱
• 气体控制箱
• 前控制面板
  

2. 输送气体和电力的绕折式导管

3. 等离子体产生单元: 中央电极, 外电极和绝缘体构成放电区

• 欲形成放电现象,需用变压器,将主电源电压转化成高电压(最大10 kV).
• 经由绕折式导管,将高电压和制程/冷却气体,供应到喷发区
• 流动气体携带由电弧所产生的活性离子(i+, e-, r *),从光束产生区喷出
• 特殊喷嘴可使活性气体,形成集中喷流,作用到被处理物体的表面.