[ 控制模式选项]

所有等离子机系统 (Femto, Pico, Nano, Tetra 30, Tetra 50, Tetra 100, 特殊机型…)/ 真空反应室, 都可裝置不同的控制模式

提供以下控制方式:

• 半自动
• 全自动
• 电脑控制
• PCCE 控制
• 程序设置
• 制程参数图