• 13.56 MHz - 電漿產生器
• 2.45 GHz - 電漿產生器 (微波)
• 半自動控制
• 全自動控制 - 輕鬆的操控系統
• PC-control - 輕鬆的操控系統而且有製程記錄
• 可擴充增加氣體管路
• 自動門
• 自動門電漿系統
• 條碼讀取器
• 偏壓測量
• 碟形閥
• 碳排放過濾器
• 適合腐蝕性氣體
• 顧客定製托架 - 可對反應室空間充分使用
• 粉塵處理裝置
• 法拉第(電容)容器. 
• 氣體擴散器 - 在電漿聚合過程中, 供應均量單體.
• 玻璃真空反應室(硼矽或石英)
• 加熱板
• 離子偵測感應器 - 在電漿聚合過程及含有腐蝕氣體的感應器.
• 真空泵浦入口過濾器
• 印表機
• 讀取器
• 加長形真空反應室(Femto, Pico, Nano, …)
• 單體瓶 - 噴出適當劑量
• 網路連結
• 聚合作用附件
• 氣瓶減壓閥
• 石英玻璃晶舟
• 卷對卷系統 - 用於長條箔狀物件及金屬引腳之處理
• RIE 電極 - 活性離子蝕刻  
• 旋轉圓筒 - 用於大宗材料處理
• 安全閥
• 工安諮詢 - 適用於易燃氣體如氫,乙烯 …
• 備品組
• 特殊電極和置物盤
• 特殊凸緣 / 附加凸緣
• 特殊軟體
• 特殊真空反應室
• 溫度測量
• 接觸角測試液
• 真空泵浦系統

選購參考項目