プラズマ装置システム

次のようなアクセサリがプラズマ装置に装備できます。:

• 13.56 MHz - 発生用電源

• 2.45 GHz - 発生用電源 (高周波)

• 半自動制御

• 全自動制御
  装置の快適な操作が実現できます。

• PC　からの制御
  処理過程の記録や装置の快適な制御に

• 追加の処理ガスチャンネル

• 自動開閉ドア

• 自動開閉ドアつきシステム

• バーコードリーダ

• バイアス電圧測定装置

• バタフライバルブ

• カーボン排気フィルタ

• 耐腐食性ガス仕様

• 特注仕様トレー
  処理室（チャンバー）の容積を有効に使うために

• 粉末処理用機材

• ファラデーボックス（電磁波から保護するための箱）

• ガスシャワー
  プラズマ重合反応処理でモノマーの投入量を均等にするためのもの

• ガラス製真空チャンバ (ホウケイ酸ガラス または　石英)

• 加熱装置

• イオン測定装置
  プラズマ重合反応処理と腐食性ガスを発生するプロセスでは必須です。

• 真空ポンプ用吸い込み側フィルタ

• ラベルプリンター

• ラベルリーダー

• 長尺寸法の真空チャンバ (Femto, Pico, Nano, …)

• モノマー製ボトル
  揮発性液体の調合用

• ネットワーク接続

• 重合プロセス 用アクセサリ

• ガスボンベ用減圧バルブ

• 石英ガラス容器

• 長尺フィルム等の処理用の巻き取り装置
  
  

• RIE反応性イオン・エッチング 電極

• 回転ドラム

  バラバラの材料を処理する場合など

• 安全弁

  水素やエタンなど可燃性のガスを使用する場合に使用します。

• 保守契約

• スペアパーツセット

• 特注仕様電極、トレー

• 特注仕様フランジ、追加フランジ

• 特注仕様ソフトウエア

• 特注仕様チャンバー

• 温度測定装置

• テスト用インク

• 真空ポンプ一式