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反應室種類
多層托架型
旋轉圓筒型
這種多層托架, 可以處理推疊物件, 也可讓反應室空間被充分利用.
旋轉圓筒型可處理大宗材料, 旋轉翻滾可促使物件每面均勻處理.
大型特定形狀型
捲軸型
處理大型物體, 電極依據物件形狀,
保證連角落凹陷處都能均勻的處理到
適用於薄片的箔狀材料或金屬引腳,經由捲軸機構的拉拽, 使條狀材料通過電極, 接受電漿處理.
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