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 反应室种类
 

多层托架型

旋转圓筒型

   
多层托架型
旋转圓筒型
   
多层托架, 可以处理堆叠物件, 也可让反应室空间被充分利用 旋转圓筒型可处理大宗材料, 旋转翻滾可促使物件每面均勻处理
 

大型特定形狀型

捲轴型

   
大型特定形狀型
捲轴型
   
处理大型物体, 电极依据物件形狀, 保证连角落凹陷处都能均勻的处理到 适用于薄片的箔狀材料或金属引脚,经由捲轴机构的拉拽, 使条狀材料通过电极, 接受等离子体处理
   
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