diener electronic : 製品の種類

図のような複数のトレーの配置は被
処理品を重ねて配置するこ
とを可能にします。チャンバ容積を有
効に使うことが出来ます。

回転ドラムはバラバラの小さな部品を
まとめて処理することが出来ます。空
中に投げ上げられ、回転することで、
すべての面に均質な処理が行われます。

大きな部品の処理には電極を被処理
物の形に合わせることで対応します。
へこみのあるような形状でも均等にエ
ッチングが可能です。

テープ状の薄膜、リードフレームなど
の処理にはチャンバの中にドラムを
入れてしまうことで対応します。プラ
ズマ処理するときには巻き取り機構
によりシートは電極に沿って進みます。
工程が終わると巻き取られた状態でチ
ャンバーから取り出されます。

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