技術資料:

外型尺寸:
W 600 mm, H 2200 mm, D 800 mm
反應室尺寸:
W 400 mm, D 625 mm, H 400 mm
反應室容積:
約 100 公升
氣體供應:
通過質量流量控制器可供應3種氣體
電漿產生器:
40kHz/0-2500 W
(可選: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵浦:
Leybold, Type  D40B(40 m3/h) 
托盤:
最多10件託盤(選項 : 旋轉圓筒)
控制方式:
電腦控制(Windows)

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