技术资料:

外型尺寸:
W 600 mm, H 2200 mm, D 800 mm
反应室尺寸:
W 400 mm, D 625 mm, H 400 mm
反应室容积:
约 100 公升
气体控制:
气流控制，三气体通道
射频发生器:
40kHz/0-2500 W
(可选: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵:
Leybold, Type  D40B(40 m3/h) 
托盘:
最多10件托盘(选项: 旋转圆筒)
控制方式:
电脑控制(Windows)

TETRA-100-LF-PC

用于清洁,蚀刻,活化 

TETRA系列

6件托盘及旋转圆筒两种形式