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| |  標準型電漿機 [ TETRA-30-LF-PC ] | | | | 較小型的Tetra-30-LF-PC電漿機, 反應室容積有30公升, 全自動控制主要應領域: 清潔, 蝕刻, 活化 | | | | TETRA 更多內容 (PDF 815 KB) | | | 技術資料: 外型尺寸:
W 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
反應室尺寸:
W 305 mm, H 300 mm, L 370mm (可選購:L 625mm)
反應室容積:
約 34 公升
氣體供應:
通過質量流量控制器, 可供應三種氣體
電漿產生器:
40kHz/0-1000 W
(可選: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵浦:
Leybold, Type D16B(16 m3/h)
托盤:
最多6件託盤(選項 : 旋轉圓筒)
控制方式:
電腦控制(Windows) 選購/ 附件 |
TETRA-30-LF-PC: 電腦控制量產型,適合清潔,蝕刻,活化 | | | | | Tetra-30-LF-PC 直立式 | | | 技術資料: 外型尺寸:
W 600 mm, H 2200 mm, D 850 mm
反應室尺寸:
W 305 mm, H 300 mm, L 370mm (可選購:D 625mm)
反應室容積:
約 34 公升
氣體供應:
通過質量流量控制器, 可供應三種氣體
發射器:
40kHz/0-1000 W
(可選: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
托盤:
最多6件託盤(選項 : 旋轉圓筒)
控制方式:
電腦控制(Windows) 選購/ 附件 |
TETRA-30-LF-PC:電腦控制量產型,適合清潔,蝕刻,活化 | | | | | 若有任何技術問題請聯絡我們. | |
