技術資料:

外型尺寸:
W 600 mm, H 1100 mm, D 650 mm
反應室尺寸:
W 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (可選購:L 625mm)
反應室容積:
約 34 公升
氣體供應:
通過質量流量控制器, 可供應三種氣體
電漿產生器:
40kHz/0-1000 W
(可選: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵浦:
Leybold, Type  D16B(16 m3/h) 
托盤:
最多6件託盤(選項 : 旋轉圓筒)
控制方式:
全自動控制, 計時器控制製程時間

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