diener electronic : 常见问题

常见问题 - 低压等离子体

[ 工作压力范围? ]

工作压力范围在0.5～2毫巴(mbar)之间。

[ 等离子机应外接什么样的设备? ]

小型等离子机应接230V电源，并有排气管的真空泵。大型等离子机应接400V电源，压力为5～6巴并有排气管的压缩空气接管。

[ 什么是等离子蚀刻机 ? ]

等离子系統又被称为等离子蚀刻机，可以蚀刻不同材料。

[ 什麼是等离子清洁机? ]

等离子系統又被称为等离子清洁机，可以针对不同材料进行清洁处理。

[ 什么是等离子灰化机? ]

等离子系統又被称为等离子灰化机，这个系統可用作移除光刻胶。

[ 什么是等离子体? ]

等离子体是一种离子化的带电气团(体)。产生原因为中性气体原子受到电场的能激作用(能量)，从而解离成离子和电子的活性状态。欲维持等离子体状态，必須不断的提供能量，其工作电源可为直流电或交流电。低压等离子体的压力范围低于10毫巴。

[ 什么是等离子体蚀刻? ]

即以较长的时间(超过5分钟)将材料从表面移除，表面被重建而增加了表面面积，从而促进材料粘着性及涂装性。其用途受限于某些材料，如塑料零件，弹性物体，半导体材料。

[ 什么是等离子体活化? ]

等离子体活化是在材料表面形成原子团，从而改善了材料粘着性及涂装性。等离子体活化所需時间约为1～5分钟。

[ 可用气体的种类? ]

- 氧气
- 氩气
- 氢气
- 氮气
- 含氟气体及其混合气体

[ 最大蚀刻深度是多少? ]

蚀刻深度，依材质，功率，时间,制程气体而定。蚀刻率一般在10Âμ/h～100Âμ/h之间。

[ 适于等离子体处理的材料: ]

理论而言沒有限制，只要被处理材料在处理过程中逸气率(Outgassing)较小即可。

[ 能处理箔状物体嗎? ]

普遍而言是可以的，不过需要一些较复杂的技术设备，箔状物须绕在轴上可以卷对卷拉拽。

[ 表面性质能改变或改善多少? ]

经等离子体處处理后表面张力增加，表面的亲水性更好(参看第9点)。

[ 会产生有毒或易燃废气嗎? ]

由于在真空下工作并制程气体量很少，所以只有极少废气产生，而且运转过程中泵有用氮气冲洗，产生的可燃性气体量很小，在燃烧限度以下根本不会燃烧。

[ 在进行等离子体处理时会产生危害健康的幅射吗? ]

所产生的輻射是被隔絕在等离子体反应室內，不会散布到空气中，因而不会产生危险。

[ 等离子体也能适用于复合材料嗎? ]

复合材料也能做等离子体处理(参看第7点)。

[ 零组件能做部份蚀刻或其他的等离子体处理吗? ]

不需等离子体处理的表面可以用适当蚀刻掩模遮蔽(例如当对塑料焊接物品做等离子体处理时，有必要遮蔽焊缝，以确保其顺利进行)。

[ 应用范围: ]

等离子体应用范围广泛，但主要应用于表面清洁，活化，蚀刻及表面涂装或电镀。