技術資料:

外型尺寸:
W 580 mm, H 650 mm, D 600 mm
反應室尺寸:
O 240 mm, L 400 mm                (可選: L 600 mm)
材質: 石英玻璃或矽酸硼玻璃
反應室前,後材質: 鋁
反應室容積:
約 18 公升
氣體供應:
通過針閥, 可供應兩種氣體
電漿產生器:
40kHz/300 W,可調變輸出功率
(可選: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵浦:
Leybold, Type  D8B (8 m3/h) 
托盤:
1 件
控制方式:
半自動控制, 計時器控制製程時間

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