技術資料:

外型尺寸:
W 580 mm, H 650 mm, D 500 mm
反應室尺寸:
O 267 mm, L 420 mm
反應室容積:
約 24 公升
氣體供應:
通過針閥可供應兩種氣體
電漿產生器:
40kHz/300 W,可調變輸出功率
(可選: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
真空泵浦:
Leybold, Type  D8B (8 m3/h)
托盤:
1 件
控制方式:
半自動控制, 計時器控制製程時間

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