等离子机-标准型等离子机

   [ NANO 等离子清洁 ]

NANO24公升反应室等离子机， 半自动控制，主要用于:

• 半导体科技

• 精密机械

• 电子技术

• 医疗技术

• 塑料技术 

• 合成橡胶技术

• 研发

 NANO更多內容 (PDF 1068 KB)

所有等离子系统均可灵活组合，以下仅为常用机型参考数据。

技术资料: 外型尺寸: W 580 mm, H 650 mm, D 600 mm 反应室尺寸:  Ø 267 mm, L 420 mm 反应室容积: 约 24 公升 气体供应: 针阀控制型 ; 双气体通道 射频发生器: 40kHz/300W, 可调变输出率            (可选:  13.56MHz 或 2.45GHz)          真空泵: Leybold, Type D8B (8m3/h) 托盘: 1 件 控制方式: 半自动控制, 计时器控制制程时间 选购/ 附件

小机型 NANO  半自动控制 适用清洁, 活化, 蚀刻, 涂装 价格:18800欧元起价(含真空泵)

小机型  NANO   全自动控制   适用于清洁，活化，蚀刻，涂装   价格需向厂家单独咨询

小机型  NANO

 

全自动控制

铰链门

适用于清洁，活化，蚀刻，涂装

 

价格需向厂家单独咨询

小机型  NANO RF

 

全自动控制，手动匹配

温度显示表，综合泵

铰链门

适用于清洁，活化，蚀刻，涂装

 

价格需向厂家单独咨询

小机型  NANO PC

电脑控制， 全自动匹配

 

温度显示表， 综合泵

价格需向厂家单独咨询