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技術的な仕様:
筺体寸法：
幅580
mm, 高さ650 mm, 奥行き500
mm
チャンバー：
Ø
267 mm, 長さ 420 mm
チャンバー容積：
約24
Liter
ガス供給：
2系統ニードルバルブにて制御
プラズマ電源：
40kHz/300
W, 無断階調整可能
(オプションで：13.56MHzまたは2.45 GHz)
真空ポンプ：
Leybold,
Type D8B (8 m³/h)
トレー：
一体型トレー
制御方式：
半自動制御、タイマーで処理時間を設定
オプション・付属品 |
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NANO
半自動制御仕様：
洗浄、活性化、エッチング、成膜などに
価格：別途お見積り（真空ポンプ込み）
NANO
全自動制御仕様：
洗浄、活性化、エッチング、成膜などに
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