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技術的な仕様：
筺体寸法：
幅 550
mm, 高さ 330 mm, 奥行き500
mm
チャンバー：
Ø
150 mm, 長さ 320
mm
チャンバー容積：
約 ５Liter
ガス供給：
2
系統、ニードルバルブで制御
プラズマ電源：
40kHz/200
W, 無断階調節可能
(オプションで:
13.56 MHz または2.45
GHz)
真空ポンプ：
Leybold,
Type Trivac D2.5B (2.5 m³/h)
トレー：
一体型トレー
制御方式：
処理時間をタイマーで設定する半
自動制御
オプション・付属品など |
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PICO:
処理工程開発、洗浄、活性化
、エッチング
価格：別途お見積り
（真空ポンプ込み） |
