技術資料:

外型尺寸:
W 345 mm, H 220 mm, D 420 mm
反應室尺寸:
O 100 mm, L 270 mm
反應室容積:
約 2 公升
氣體供應:
通過針閥, 可供應一種氣體
電漿產生器:
40kHz/100 W, 可調變輸出功率
真空泵浦:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盤:
1 件
控制方式:
半自動控制, 計時器控制製程時間

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