| |
| |
 等离子机-标准型等离子机 |
|
[ FEMTO 等离子清洁机]
|
2公升实验室系列， 半自动控制主要用于:
- 小尺寸产品
- 分析(SEM, TEM)
- 医疗技术
- 灭菌消毒
- 研发
- 考古学
- 纺织技术
- 半导体技术
- 塑料技术
|
| |
| FEMTO更多內容 (PDF 1007 KB) |
|
所有等离子系统均可灵活组合，以下仅为常用机型参考数据。
|
|
技术资料:Femto
外型尺寸:
W 345 mm, H 220 mm, D 420 mm
反应室尺寸:
Ø 100 mm, L 270 mm
反应室容积:
约 2 公升
气体供应:
针阀控制型 ; 单气体通道
射频发生器:
40kHz/100W, 可调变输出功率
真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盤:
1 件
控制方式:
手动, 计时器控制制程时间
选购/ 附件
|
小机型FEMTO (型号1):
适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
价格:7600欧元起价(含真空泵)
|
|
技术资料:Femto 自带计时器
外型尺寸:
W 345 mm, H 220 mm, D 420 mm
反应室尺寸:
Ø 100 mm, L 270 mm
反应室容积:
约 2 公升
气体供应:
针阀控制型 ; 单气体通道
射频发生器:
40kHz/100 W, 可调变输出功率
真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盤:
1 件
控制方式:
手动, 计时器控制制程时间
选购/ 附件
|
小机型FEMTO 自带计时器 (型号1):
适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
价格需向厂家单独咨询
|
|
|
技术资料:Femto PCCE
外型尺寸:
W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反应室尺寸:
Ø 100 mm, L 280 mm
反应室容积:
约 2.8 公升
气体供应:
流量控制型 ; 双气体通道
射频发生器:
40kHz/100 W, 可调变输出功率
真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盤:
1 件
控制方式:
电脑控制
选购/ 附件
|
小机型FEMTO PCCE (型号2):
创新触摸屏
适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
价格需向厂家单独咨询
旧式LCD显示 新式触摸显示屏
|
| |
技术资料:Femto
外型尺寸:
W 345 mm, H 220 mm, D 420 mm
反应室尺寸:
Ø 100 mm, L 270 mm
反应室容积:
约 2 公升
氣體供應:
针阀控制型 ; 单气体通道
射频发生器:
13.56MHz/50 W, 可调变输出功率
真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盤:
1 件
控制方式:
手动, 计时器控制制程时间
选购/ 附件
|
小机型FEMTO (型号3):
适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
价格:8200欧元起价(含真空泵)
|
|
|
|
技术资料:Femto
外型尺寸:
W 560 mm, H 310 mm, D 600 mm
反应室尺寸:
W 100 mm, H 100 mm, L 280 mm
反应室容积:
约 2.8 公升
气体供应:
针阀控制型 ; 单气体通道
射频发生器:
40kHz/100 W, 可调变输出功率
真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盤:
1 件
控制方式:
手动, 计时器控制制程时间
选购/ 附件
|
小机型FEMTO (型号4):
适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
价格需向厂家单独咨询
|
技术资料:Femto
外型尺寸:
W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反应室尺寸:
Ø 100 mm, L 270 mm
反应室容积:
约 2 公升
气体供应:
针阀控制型 ; 双气体通道
射频发生器:
40kHz/100 W, 可调变输出功率
真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盤:
1 件
控制方式:
手动, 计时器控制制程时间
测压仪:
Pirani
选购/ 附件
|
小机型FEMTO (型号5):
适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
价格需向厂家单独咨询
|
技术资料:Femto-PC
外型尺寸:
W 500 mm, H 460 mm, D 550 mm
反应室尺寸:
Ø 100 mm, L 270 mm
反应室容积:
约 2 公升
气体供应:
流量控制型 ; 三气体通道
射频发生器:
40kHz/100W
(可选: 13.56MHz 或 2.45 GHz)
真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盤:
1 件
控制方式:
Windows 软件电脑控制 (见电脑控制)
选购/ 附件
|
小机型FEMTO (型号6):
适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
价格需向厂家单独咨询
|
技术资料:Femto
外型尺寸:
W 320 mm, H 500 mm, D 420 mm
反应室尺寸:
W 100 mm, H 100 mm, L 280 mm
反应室容积:
约 2 公升
气体供应:
针阀控制型 ; 双气体通道
射频发生器:
40kHz/100 W, 可调变输出功率
真空泵:
Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
托盤:
1 件
控制方式:
手动, 计时器控制制程时间或自动控制
测压仪:
Pirani
选购/ 附件
|
小机型FEMTO (型号7):
适用小尺寸制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
价格需向厂家单独咨询
|
若有任何技术问题请联络我们
|
|
