プラズマ装置

低圧プラズマ処理技術を使って何種類もの表面処理が可能です。 汚染された装置の洗浄や合成樹脂部品のプラズマでの活性化、PTFEやシリコンのエッチング, PTFEのような層のコーティング。これがプラズマ処理が材料を結合したり特殊な表面処理が必要な場合に使われる理由です。