将反应气体如︰ [六甲基二硅醚(HMDSO), 六甲基二硅烷胺(HMDSN),四乙二醇二甲醚， 六氟乙烷(C2F6)....] 导入等离子反应室，通过等离子聚合效应会在表面形成涂层。

应用:

• 疏水层的沉积﹒
• 亲水层的沉积﹒
• 扩散屏障﹒