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等离子体技术
- 表面蚀刻
表面通过反应气体被蚀刻,被蚀刻材料转化为气相并被真空泵排出,处理后的材料表面积扩大并具良好亲水性。
应用:
例如硅的分解﹒
使耐高温塑料如 PTFE, PFA 及 FEP有良好的粘着
性及胶合
效果
﹒
等离子体处理前硅加蚀刻掩模
等离子体处理进行中
等离子体处理后
POM:等离子体处理前
等离子体处理后
PTFE
: 等离子体处
理前
等离子体处理后
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