反応性の処理ガスによる表面のエッチング。素材は蒸発し取り去られます。表面積は大きくなります。
適用例：
シリコンの構造体形成
耐熱樹脂 PTFE, PFA 、FEP と接着剤の接合の改善
プラズマ処理の最中
プラズマ処理後
POM樹脂： プラズマ処理前
同左、処理後
PTFE樹脂： 処理前
