以物理方式的離子轟擊，清潔物質表面，視氣體種類合併化學方式，將有機不純物及污染源，及反應後廢氣都經由真空幫浦抽除。

• 移除油脂，油污，氧化物或矽酮﹒
• 接合，錫焊，膠著前的前置處理﹒
• 金屬材料完工前的前置處理﹒