イオン照射が物理的に表面を洗浄します。ガスの種類によっては化学的な効果もあります。汚染物質は気化し除去されます。
用途:
グリス、油分、酸化膜、シリコンなどの除去
接着、結合形成 、ハンダ付け等の前処理
金属の仕上げの前処理