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 常見問題 - 低壓電漿 |
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- 工作壓力範圍?
- 電漿機應外接什麼樣的設備?
- 什麼是電漿蝕刻機 ?
- 什麼是電漿清潔機 ?
- 什麼是電漿灰化機 ?
- 什麼是電漿?
- 什麼是電漿蝕刻?
- 什麼是電漿活化 ?
- 可用的氣體種類?
- 最大的蝕刻深度(能力)是多少?
- 適於電漿處理的材料:
- 能處理箔狀的片狀物嗎?
- 表面性質能改進多少?
- 會產生毒性或易燃的廢氣嗎?
- 會產生輻射危害健康發育嗎?
- 電漿也能適用於複合材料嗎?
- 零組件能做部份蝕刻或其他的電漿處理嗎?
- 應用範圍:
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| [ 工作壓力範圍? ] |
| 工作壓力範圍在0.5～2毫巴(mbar)之間﹒ |
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| [ 電漿機應外接什麼樣的設備? ] |
| 小型電漿機應接230V電源，真空泵浦要有排氣管。大型電漿機應接400V電源，壓力為5～6巴的壓縮空氣,同樣也需排氣管﹒ |
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| [ 什麼是電漿蝕刻機 ? ] |
| 電漿系統又被稱為電漿蝕刻機，可以以蝕刻不同的材料﹒ |
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| [ 什麼是電漿清潔機? ] |
| 電漿系統又被稱為電漿清潔機，可以針對不同的材料進行清潔處理﹒ |
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| [ 什麼是電漿灰化機? ] |
| 電漿系統又被稱電漿灰化機，這個系統可用作移除光阻，例如矽晶圓上的光阻﹒ |
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| [ 什麼是電漿? ] |
| 電漿是一種離子化的帶電氣團(體)。當中性氣體原子受到電場的能激作用(能量)，而解離成離子和電子的活性狀態。欲維持電漿狀態，必須不斷的提供能量，產生電漿的電源可為直流電或交流電，低壓電漿的壓力範圍低於10毫巴﹒ |
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| [ 什麼是電漿蝕刻? ] |
| 即是以較長的時間(超過5分鐘)將材料從表面移除，表面被重建而增加了表面積，促進粘著性及塗料附著的效果都會較好。可應用於塑膠零件，彈性物體，半導體或某些金屬﹒ |
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| [ 什麼是電漿活化? ] |
| 電漿活化是在材料表面上成為[根]或[基]的形式，無論是黏著性及塗怖印刷，都有較佳的結合力，電漿活化需時約1～5分鐘﹒ |
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| [ 可用氣體的種類? ] |
- 氧氣
- 氫氣
- 氬氣
- 氮氣
- 含氟氣體及其混合氣體 |
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| [ 最大的蝕刻深度(能力)是多少? ] |
| 蝕刻深度，依材質，功率，時間,製程氣體而定.蝕刻率一般在10Aμr/hr～100Aμr/hr之間﹒ |
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| [ 適於電漿處理的材料: ] |
| 正常而言沒有限制，只要被處理的材料在處理的過程中，逸氣率(Outgassing)較小即可﹒ |
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| [ 能處理箔狀的片狀物嗎? ] |
| 一般而言是可以的，不過需要一些較複雜的技術設備，箔狀物須繞在軸上可以卷對卷拉拽﹒ |
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| [ 表面性質能改變多少? ] |
| 經電漿處理後表面張力增加，表面的親水性更好(參看第9點)﹒ |
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| [ 會有有毒或易燃的廢氣產生嗎? ] |
| 由於在真空下工作，製程氣體量很少，所以只有很少的廢氣產生，而且運轉過程中泵浦有用氮氣沖洗，產生的可燃性氣體量很小，在燃燒限度以下根本不會燃燒﹒ |
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| [ 輻射會危害健康發育嗎? ] |
| 所產生的輻射是被隔絕在電漿反應室內，不會散佈到空氣中，沒有危險﹒ |
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| [ 電漿也能適用於複合材料嗎? ] |
| 複合材料能被電漿處理(參看第7點)﹒ |
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| [ 零組件能做部份蝕刻或其他的電漿處理嗎? ] |
| 不需電漿處理的表面，可用適當材料遮蔽﹒ |
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| [ 應用範圍: ] |
| 電漿應用範圍廣泛，但主要應用於表面清潔，活化，蝕刻及表面塗佈或電鍍﹒ |
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