| |
FAQ – 低圧プラズマ装置について
|
| |
[ よくある質問とその答え ANSWERS
TO FREQUENTLY ASKED QUESTIONS ]
|
| |
|
| |
- 使用可能な圧力の範囲（真空度）は？
- プラズマエッチャーとは何？
- プラズマ洗浄装置とは何？
- プラズマアッシャーとは何？
- プラズマとは何？
- プラズマエッチングとは何？
- プラズマ活性化とは何？
- 使用可能なガスの種類は?
- エッチング可能な層の強度は？
- プラズマ処理可能な素材の種類は？
- 薄い膜状物でも処理できるか？
- どの程度処理した表面が変化したり改善されたりするのか？
- 有毒性ガスや可燃性ガスが発生する可能性は？
- 放射は人体に悪影響がありますか？
- 複合素材や多種類の材料から構成されている部品にプラズマ処理は可能？
- 被対象物の一部分だけエッチングしたり処理することは可能？
- 使い道の可能性：
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
プラズマ発生可能な圧力の範囲はおよそ5
Paから200
Pa位までです。 |
| |
|
| |
 |
| |
|
| |
|
| |
[ プラズマ装置を使用するのに必要なものは？（電力、ガス他） ]
|
| |
|
| |
小型の装置であれば２３０Vの電源と真空ポンプ排出ガスの排出先が必要です。大きな装置であれば４００Vの電源と０．５ｋPaから０．６ｋPa程度の圧搾空気源と真空ポンプ排出ガスの排出先が必要です。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ プラズマエッチャーとは何ですか？]
|
| |
|
| |
プラズマ装置は別名”プラズマエッチャー”、”プラズマエッチング装置”としても知られています。プラズマ化した原子の衝突で表面を削り取るエッチング処理が可能です。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ プラズマ洗浄装置とは何ですか?
]
|
| |
|
| |
プラズマ装置は別名”プラズマ洗浄装置”としても知られています。有機物汚染などを取り除くことが出来ます。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ プラズマアッシャーとは何ですか？ ]
|
| |
|
| |
プラズマ装置は別名”プラズマアッシング装置”としても知られています。半導体製造工程で シリコンウエハ上の感光性耐蝕皮膜材料（photoresists）を灰化して取り除くことが出来ます。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ プラズマとは何ですか？ ]
|
| |
|
| |
イオン化したガスのことをプラズマと呼びます。中性のガス原子がイオンと電子に遊離した状態です。エネルギーがガスに供給される必要があります。エネルギーは電界によってプラズマに伝達されます。 直流電源 でも交流電源でもプラズマを点火することが出来ます。運転可能な圧力の範囲は低圧プラズマ装置の場合、約１ｋPa（１０ｍbar）以下です。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ プラズマエッチングとは何ですか？ ]
|
| |
|
| |
長時間（約5分以上）プラズマ処理すると表面から素材が取り除かれていきます。表面はエッチング効果で削り取られて形作られていきます。接着剤の接合性能が向上し、塗装の前処理にも可能です。この利用法はプラスチック部品、高分子弾性体、半導体、一部の金属に適用出来ます。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ 活性化とは何ですか？ ]
|
| |
|
| |
材料表面に活性の高い層を形成することです。接着剤や塗料の密着性が向上します。処理時間は1分から5分程度です。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ 使用可能なガスの種類は？ ]
|
| |
|
| |
ー 酸素
ー 水素
ー アルゴン
ー 窒素
ー フッ素系ガスやその混合ガス |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ エッチングで削り取ることが可能な深さは？]
|
| |
|
| |
単位時間当たりの加工速度は素材、印加電力、処理ガスの種類に依存します。エッチングの進行速度は1時間当たり10から100µ（オングストローム）程度です。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ プラズマで処理することが可能な素材は？ ]
|
| |
|
| |
基本的には制限は無く、どんなものでもプラズマ処理可能です。可否の判断基準は素材が真空引きされたときに、ガス放出が全く無いか微量なことです。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ 薄膜の処理は可能ですか？ ]
|
| |
|
| |
一般的に薄膜をプラズマ処理することは可能です。専用の処理装置、処理の方法が必要です。長尺の薄膜は巻き取り装置を使って巻き上げながら処理する必要があります。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ 処理された素材の表面の改質の程度は？]
|
| |
|
| |
基本的にプラズマ処理によって素材の表面張力が増加します。表面の濡れ性が向上します。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ 毒性や引火性の排出ガスが生成されることはありますか？ ]
|
| |
|
| |
圧力の低い真空状態で処理を行うので処理ガスの排出量は非常に少ないです。可燃性ガスは着火限界よりも希釈されてしまうので引火性はなくなります。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ エネルギー放射は有害ですか？ ]
|
| |
|
| |
プラズマ装置チャンバー内で発生するエネルギー放射は吸収されてしまい外部には漏れません。ですので危険はありません。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ 複合素材にもプラズマを使用可能ですか？ ]
|
| |
|
| |
複合素材を使用した部品、製品でもプラズマ処理が可能です。 |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ 部分的なエッチングや処理は可能ですか？ ]
|
| |
|
| |
適切な覆い（マスク）を使用することで部分的な処理が可能になります。（たとえば、プラスチックの溶接継ぎ手部分は溶接欠陥発生を防ぐためにプラズマ処理する際に保護が必要です。） |
| |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
[ 応用の可能性： ]
|
| |
|
| |
主なプラズマ処理の目的は：洗浄、活性化、エッチング、成膜などです。ただし可能性は無限にあります。 |
| |
|
| |
|
| |
|
