プラズマを使って何種類もの表面処理が可能です。 汚染された装置の洗浄や合成樹脂部品のプラズマでの活性化、PTFEやシリコンのエッチング, PTFEのような層のコーティング。これがプラズマ処理が材料を結合したり特殊な表面処理が必要な場合に使われる理由です。
研究や小規模の生産向けシステムFEMTO (低圧プラズマ装置）
量産、小量生産向けシステム PLASMABEAM (大気圧プラズマ装置)
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研究開発、生産用途 TETRA 30 （低圧プラズマ装置）
大量生産用装置 TETRA 600
（低圧プラズマ装置）
